ASMPT FIREBIRD TCB 系列

全自动热压式固晶系统

特色

• 灵活的物料处理能力，专门处理异质整合 2D、2.5D 及 3D

• 并存晶圆及卷带送料

• 可处理框条式基板 / 单一式基板 / 晶圆

• 特宽载具处理，适用于单一式基板

• 选配 SlimFEM 系统直接处理晶圆及玻璃基板

• 可靠的安装基础

• > 250 台已在客户厂房进行量产

• 创新工艺处理

• 惰性环境, 实现独有的 LPC 制程及高产能

• 实时主动位置倾斜控制